ソフト詳細説明
GUIから Static/Dynamic繰り返し測定した CD値を読み込み Y= a + b*X + c*( exp( d/c*x ) -1 ) の式にFittingし解析するツールです。簡単なグラフ表示機能も用意しました。詳細は、ArF-Program.pdf、ReadMe1st.txt を御覧ください。
動作環境
| ソフト名： | ArFレジストの 測定再現性計算プログラム |
|---|---|
| 動作OS： | Windows 7/Vista/XP/2000 |
| 機種： | IBM-PC |
| 種類： | フリーソフト |
| 作者： | (恒) |